研究发现，O3分子极不稳定，能分解产生氧化能力极强的单原子氧（O）和羟基（OH），迅速破坏细菌、病毒等微生物的内部结构，对各种致病微生物有较强的杀灭作用并能分解成氧气，不会造成二次污染。据试验发现，在一定浓度气态臭氧中，包括肉毒杆菌毒素大肠杆菌、金黄色葡萄球菌、鼠伤寒沙门氏菌、福氏痢疾杆菌、枯草杆菌黑色变种芽孢，甚至SARS病毒和艾滋病毒等，根本就无法生存。
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